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半導(dǎo)體裝備在高精度方面具有獨(dú)特優(yōu)勢。半導(dǎo)體器件的制造對設(shè)備的精度要求非常高，包括光刻機(jī)、離子注入機(jī)、化學(xué)氣相沉積機(jī)等各類半導(dǎo)體裝備都需要達(dá)到亞微米級的高精度。而半導(dǎo)體裝備的發(fā)展一直致力于提高精度水平，通過精密控制系統(tǒng)、好的傳感器技術(shù)、高精度
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半導(dǎo)體裝備在高精度方面具有獨(dú)特優(yōu)勢。半導(dǎo)體器件的制造對設(shè)備的精度要求非常高，包括光刻機(jī)、離子注入機(jī)、化學(xué)氣相沉積機(jī)等各類半導(dǎo)體裝備都需要達(dá)到亞微米級的高精度。而半導(dǎo)體裝備的發(fā)展一直致力于提高精度水平，通過精密控制系統(tǒng)、好的傳感器技術(shù)、高精度
